奥谱天成(厦门)科技有限公司
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ATGX310系列_光学薄膜厚度测量仪
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型号 : ATGX310
产品详情

ATGX310系列

           光学薄膜厚度测量仪

ATGX310.jpg


产品概述

光学薄膜厚度测量系统,是利用薄膜反射光干涉的原理,对薄膜进行厚度测量及分析。它非常适合测量半导体、LCDTFTPDPLED、触摸屏、汽车车灯、医学、太阳能、聚合物薄膜、眼镜等光学元件的膜厚测量。



工作原理

光学薄膜厚度测量系统,是利用薄膜反射光干涉的原理,对薄膜进行厚度测量及分析。它利用波长范围最宽为200-1700nm的光垂直入射到薄膜表面,只要薄膜有一定程度的透射,ATGX310就能根据反射回来的干涉光谱拟合计算出薄膜的厚度,最大测量范围可以达到10nm~250um,可以同时完成多达3层膜厚的测试。核心部件使用ATP3010P高分辨率、高灵敏度光谱仪,多达4096像素元的CCD阵列,为测量结果的准确性提供了可靠的保证。

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产品特点

没有更多耗时的基准校正 , 不再浪费更多的时间预热光源, 您仅需将ATGX310连接到计算机的USB端口,4000小时的光源,及内建光谱校准意味着几乎没有维护成本, 更意谓着量测精确.独特的暗箱室结构,可以让您在任何光亮环境中准确测量。


规格及参数


光学系统

Ø  标准氘卤组合灯光源

Ø  准直照明,积分球接收

Ø  接收器:微型光纤光谱仪

Ø  波长范围:200-1100

Ø  测量范围:0-100%


技术参数

Ø  波长准确度 ±0.5nm

Ø  波长重复性 ≤0.2nm

Ø  光谱带宽 1nm

Ø  杂散光 ≤0.05%

Ø  透射比准确度 ±0.5%

Ø  透射比重复性≤0.5%


应用范围    


Ø  眼镜、太阳镜、防嗮保护膜

Ø  各种光学元件、滤光片等

Ø  平面玻璃、塑料制品

Ø  手机显示屏、液晶屏

Ø  其他透明或半透明材料


实验搭建

基于微型光纤光谱仪(ATP3010P)、R3测量支架(R3)、氘卤灯光源(ATG1020)、光纤准直镜(FIBH-2-UV)以及紫外光纤(FIB-600-UV)搭建的光学镀膜厚度测量系统。

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ATGX310规格参数表

型号

ATGX310-VIS

ATGX310-XR

ATGX310-DUV

ATGX310-NIR

测量波长范围

400-850nm

250-1060nm

190-1100nm

900-1700nm

厚度范围

50nm-20um

10nm-100um

1nm-100um

100nm-250um

厚度分辨率

0.1nm

0.1nm

0.1nm

0.1nm

重复性

0.3nm

0.3nm

0.3nm

1.0nm

入射角

90

90

90

90

膜厚层数

至多10层

至多10层

至多10层

至多10层

样品材料

透明或半透明薄膜

透明或半透明薄膜

透明或半透明薄膜

透明或半透明薄膜

测量模式

反射和透射

反射和透射

反射和透射

反射和透射

粗糙膜厚测量

可以

可以

可以

可以

测量速度

最短1ms

最短1ms

最短1ms

最短1ms

是否能在线

光斑尺寸

标准:200um或400um

标准:200um或400um

标准:200um或400um

标准:200um或400um

定制:100um

定制:100um

定制:100um

定制:100um

显微镜搭配

可以

可以

可以

可以

CCD成像

可以

可以

可以

可以

扫描选择

150mmX300mm

150mmX300mm

150mmX300mm

150mmX300mm

xy扫描平台

xy扫描平台

xy扫描平台

xy扫描平台

真空兼容




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